氮气等离子表面处理机产品应用产业
.STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁
.COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁
.LCD或OLED的玻璃清洁
.IC封装(Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.)或LED封装的表面清洁或改质
.PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶
.晶圆的表面清洁或去光阻
等离子体技术行业应用
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的*四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子体聚合反应
在适合的条件下,差不多所有**化合物都能通过等离子体进行聚合。一般用光化学或自由基引发的气相聚合只限于乙烯基的**化合物。除非单体分子含有“较化团”,也只能得到低分子量的聚合物,等离子,如苯乙烯、丙烯腈、甲异丙醇酮等在气相中都不能聚合,低温等离子,除非它们先经过光敏化。相反地,等离子体聚合则不限于乙烯基类的单体,它包括普通方法不能聚合的一些单体分子。①等离子体聚合饱和的脂肪族烃。电子碰撞单体分子,捷纳特等离子,产生活性粒子,主要是自由基,其次是离子及被激励的分子。