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等离子体技术行业应用

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，南京等离子机，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，等离子机，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，广州等离子机，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

等离子体应用

人工等离子体的温度大约为103～108开，电子数密度约为108～1021/厘米3，电流为毫安～兆安数量级，气体压力为百帕～百千帕，放电频率从直流到微波，这些参量决定了等离子体的不同应用。主要有高温等离子体应用、热等离子体应用、冷等离子体应用三大类。高温等离子体应用，高温等离子体的温度为 102～104电子伏（1电子伏相当于 1.1×104开）。它主要用于热核聚变发电。①为氘-氘(D-D)反应，②为氘-氚(D-T)反应。由聚变反应产生的粒子具有很高的能量，将这种能量转化为热能可用于发电。核聚变发电具有清洁、**的优点。尤为重要的是，上海等离子机，其燃料氘来源于海水，全世界氘的贮量可供人类享用百亿年，这是任何其他能源都无法与之相比的。