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等离子体所与核工业二三建设公司签署战略合作协议

　　11月24日上午，中科院等离子体所与中国核工业二三建设有限公司签署战略合作协议。等离子体所所长万宝年与中国核工业二三建设有限公司董事长、党委书记徐永强代表双方签字。

　　中国核工业二三建设有限公司副总经理范凯，承德等离子，国际事业部总经理冯满军、总工程师张伟栋，等离子体所党委书记张晓东、副所长吴新潮、所长助理赵君煜及相关部门负责人等出席签约仪式，中国国际核聚变能源计划执行中心房同珍处长见证全过程。

等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入反应室被真空泵抽真空，常压等离子清洗，气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，低温等离子表面处理机，这种设计是富有弹性的，在线等离子清洗机，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE)，顺流等离子体(downstream)，直接等离子体(directionplasma)。