等离子清洗机
采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,ITO清洗,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好;
使用等离子清洗,可以使得清洗效率获得较大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点;
等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa,这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高,清洗,加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的**溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;
热等离子体应用
如果需要向工件(需熔化的金属)输入更多的能量,可以用图1b的方式,用工件本身作正极。图1c结构可用于陶瓷的熔解。由辅助直流炬喷出气流,再由同轴三相交流电对等离子体继续加热。热等离子体射流进入旋转离心炉,与壁材料相互作用,使其熔化。图1d是高频 (0.5~15兆赫)无电极的等离子体装置。电能通过线圈耦合到等离子体。它的优点是可以加热各种气体(包括活性的或腐蚀性的气体),bonging清洗,进入化学反应的杂质少,热电转换效率高。但是比较贵。
等离子体应用
为了实现热核聚变反应,等离子体必须要有很高的温度,封装清洗,才能使氘核具有足以克服氘核间的库仑排斥力的巨大动能;同时,它还必须有很高的粒子密度和足够长的约束时间。这样,氘核之间才得以发生充分的核反应,放出足够的能量。由于热核聚变反应堆本身有一定的能量损失,因而,要实现聚变反应,需首先求得整个系统不耗电情况下维持运行的条件,即得失相当的条件,通常称为劳孙判据。
对氘-氘反应 T≥50keV nτ≥1015s/cm3
对氘-氚反应 T≥10keV nτ≥6×1013s/cm3。