等离子机、捷纳特、等离子

空气等离子表面处理机的尺寸规格

1 7CDA/N2进气压力0.42±0.1MPa

2CDA/N2 使用流量22±5L/min

3有效清洁范围5-200mm* 宽幅需定制

4 处理速度300mm/s

5排气规格大于500L/min

6 通信接口D-SUB25PIN接口等离子设备孔，客户端针。

7DIO 输入信号外部输入-紧急停止

 外部输入-点火开始

 外部输入-设备复位

．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁

．COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁

．LCD或OLED的玻璃清洁

．IC封装（Flip Chip，等离子机， CSP，在线等离子清洗机， BGA， TCP，在线等离子处理设备， or Lead Frame， etc.）或LED封装的表面清洁或改质

．PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶

．晶圆的表面清洁或去光阻

等离子体技术行业应用

等离子体和固体、液体或气体一样，等离子，是物质的一种状态，也叫做物质的*四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。