热等离子体应用
如果需要向工件(需熔化的金属)输入更多的能量,可以用图1b的方式,用工件本身作正极。图1c结构可用于陶瓷的熔解。由辅助直流炬喷出气流,再由同轴三相交流电对等离子体继续加热。热等离子体射流进入旋转离心炉,与壁材料相互作用,等离子清洁,使其熔化。图1d是高频 (0.5~15兆赫)无电极的等离子体装置。电能通过线圈耦合到等离子体。它的优点是可以加热各种气体(包括活性的或腐蚀性的气体),进入化学反应的杂质少,热电转换效率高。但是比较贵。
等离子处理
经过低温等离子处理达到较高表面能后,立刻进行下一道工序,避免表面能衰减造成的影响。
低温等离子表面处理系统可以上线使用吗
答案是肯定的。无论是手机按键粘接、机壳涂装、密封条植绒、密封条喷涂还是其他,低温等离子表面处理系统的在线使用都已经成为现实。我们还可以根据使用单位产线的特定要求,将系统和产线相匹配,无论是新线还是旧线改造,等离子清洗机,都可以满足。
等离子体技术行业应用
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,长春等离子,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,等离子清洁设备,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。